1.別名·英文名
　　二氯硅烷；DichIorosilane．
　　2.用途：
　　電子氣、外延、化學(xué)氣相淀積。
　　3.制法：
　　(1)硅烷或一氯硅烷在三氯化鋁存在下與氯化氫反應(yīng)。 (2)在高溫下，硅與氫及氯化氫反應(yīng)，再精餾提純。
二、理化性質(zhì)
　　分子量： 101.010 熔點(diǎn)： -122.0℃ 、沸點(diǎn)(101.325kPa)： 8.2℃、液體密度(0℃，101.325kPa)：1220kg/m 、氣體密度(25℃，101.325kPa)：4.168kg/m 、相對(duì)密度(氣體，空氣=1，25℃，101.325kPa)：3.52· 、比容(21.1℃，101.325kPa)： 0.2391m/kg 、氣液容積比(15℃，100kPa) 290L/L 、臨界溫度： 176.0℃ 、臨界壓力：4676kPa 、　臨界密度：463kg/m3
、氣化熱(8.4℃，101.325kPa)：249.kJ/kg 、比熱容(25℃，氣體)：Cp=611.27J/(kg·K) 、蒸氣壓 (-20℃)：31.4kPa 、(0℃)： 81.1kPa
、(20℃)：167.2kPa 、粘度(氣體，20℃，101.325kPa)：0.0163mPa·s
、表面張力(20℃)：11.9mN/m 、空氣中可燃范圍(20℃，101.325kPa)： 4.1%～98.8%(體積)、自燃點(diǎn)：100.0℃
　　二氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性窒息氣味和腐蝕性的無(wú)色有毒氣體?？諝庵幸兹?，100℃以上能自燃，燃燒氧化后生成氯化氫和氧化硅。加熱至100℃以上時(shí)會(huì)自行分解而生成鹽酸、氯、氫和不定性硅。施以強(qiáng)烈撞擊時(shí)也會(huì)自行分解。在濕空氣中產(chǎn)生腐蝕性煙霧。遇水水解生成鹽酸和聚硅氧烷(SiH2O)4?？扇苡诒?、醚和四氯化碳。與堿、乙醇、丙酮起反應(yīng)。即使接觸小量鹵素或其它氧化劑也會(huì)發(fā)生激烈反應(yīng)。與三烷基胺、吡啶形成加成化合物。與三氟化銻反應(yīng)生成氟硅烷。
三、毒性
　　有毒氣體范圍： >0.25ppm 、嗅覺(jué)濃度： ～1ppm 、　刺激性濃度： ～10ppm 、最高容許濃度： 0.5ppm(2mg/m)
　　二氯硅烷的毒作用主要是由它在濕空氣中的水解產(chǎn)物氯化氫引起的。因此，人吸入后激烈刺激呼吸道，引起嗆咳、呼吸道發(fā)炎、喉痙攣和肺水腫。觸到眼睛可引起流淚并導(dǎo)致眼灼傷。接觸皮膚可引起化學(xué)燒傷。液態(tài)二氯硅烷也可引起冷燒傷。
四、安全防護(hù)
　　可把二氯硅烷看作火源，禁止在任何火災(zāi)危險(xiǎn)區(qū)存放鋼瓶或敷設(shè)二氯硅烷的管道。氣體用鋼瓶貯裝，鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)的室外或強(qiáng)制通風(fēng)的室內(nèi)，要遠(yuǎn)離氧化劑、火源和熱源。設(shè)備管道等使用前須脫水和密封?？捎煤ぬ铰┢?、氨或本身的窒息性氣味來(lái)檢漏。所有設(shè)備管道要接地。設(shè)備或裝置暫時(shí)不用或延長(zhǎng)停產(chǎn)時(shí)間時(shí)，應(yīng)把二氯硅烷放出來(lái)，充入干燥的惰性氣體。
　　有水分時(shí)二氯硅烷呈強(qiáng)酸性，腐蝕性極強(qiáng)。對(duì)無(wú)水二氯硅烷可用鐵、低合金鋼、鎳鋼、銅鎳合金、鎳、海帕倫、蒙乃爾、銀、金、鉑、鉭。不能用鋁、鋁合金、銅硅合金、黃銅等。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、天然橡膠、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯硅烷可能燃燒的地方避免使用可燃性材料。
　　當(dāng)發(fā)生火災(zāi)時(shí)，首先要關(guān)閉氣瓶閥，斷絕氣源。滅火時(shí)，如果用水，則產(chǎn)生大量氯化氫，如果用堿性粉末，則產(chǎn)生氫氣，因此這兩者都不可用?？梢杂枚趸己蜕白?。廢氣可用水或苛性鉀等堿液吸收，可以用相應(yīng)的吸附劑吸附，也可以在嚴(yán)格控制下燃燒。